BIE 2018/12:Rb. Den Haag, 18-07-2018, nr. C/09/537395 / HA ZA 17-848

BIE 2018/12

Rb. Den Haag, 18-07-2018, nr. C/09/537395 / HA ZA 17-848

Deze functie is alleen te gebruiken als je bent ingelogd.Deze functie is alleen te gebruiken als je bent ingelogd.Deze functie is alleen te gebruiken als je bent ingelogd.

Samenvatting

Nieuwheid

Nikon moet worden nagegeven dat in EPA2 188 niet expliciet staat beschreven dat de sensor en de wafer zich op dezelfde hoogte moeten bevinden. In theorie is het derhalve mogelijk dat de wafer en de sensor zich op verschillende hoogte bevinden, terwijl elk afzonderlijk zich hoofdzakelijk op dezelfde hoogte bevindt als de wafertafel.

Echter, met ASML is de rechtbank van oordeel dat de vakman uit EPA2 188, uitgaande van zijn algemene vakkennis, zal begrijpen dat de sensor en de wafer zich op dezelfde hoogte bevinden omdat een andere lezing niet logisch is.(..)

Overigens is op te ... Verder lezen? Log in om dit document te bekijken.

Deze functie is alleen te gebruiken als je bent ingelogd.